
美国ATI PAO气溶胶残留有效解决办法
文章出处:技术评测 作者:admin 人气:
PAO气溶胶残留有效解决办法
关于什么是PAO这个问题就不做介绍了,但是什么是PAO检测在这就要先说下吧。所谓的PAO检测是利用PAO气溶胶为介质在气溶胶发生器ATI TDA-4B/TDA-5C/TDA-6D/内利用冷凝震荡或者加热通过惰性气体或者压缩空气把颗粒状PAO送入检测高效片上方,这个时候用ATI TDA-2I光度计在下游做浓度建立后进行检测。
一般是这样的:根据单个高效片的风量或者一个系统的风量合理选取气溶胶发生器并配置相应的惰性气体或者压缩气体,然后把气溶胶PAO倒入仪器根据风量调整压力或者发尘量TDA-4B/TDA-6D压力为20PSI,TDA-5C压力为50PSI。下游TDA-2I建立百分百浓度,建立后开始测量。测量结束后把仪器清洁后放入仪器箱子。
测量结束后还会在高效里面残留PAO但是大家不要担心 这个PAO是会分解的而且不会给洁净区造成污染。
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关于什么是PAO这个问题就不做介绍了,但是什么是PAO检测在这就要先说下吧。所谓的PAO检测是利用PAO气溶胶为介质在气溶胶发生器ATI TDA-4B/TDA-5C/TDA-6D/内利用冷凝震荡或者加热通过惰性气体或者压缩空气把颗粒状PAO送入检测高效片上方,这个时候用ATI TDA-2I光度计在下游做浓度建立后进行检测。
一般是这样的:根据单个高效片的风量或者一个系统的风量合理选取气溶胶发生器并配置相应的惰性气体或者压缩气体,然后把气溶胶PAO倒入仪器根据风量调整压力或者发尘量TDA-4B/TDA-6D压力为20PSI,TDA-5C压力为50PSI。下游TDA-2I建立百分百浓度,建立后开始测量。测量结束后把仪器清洁后放入仪器箱子。
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